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第一外筒，該第一外筒與旋轉(zhuǎn)接頭機(jī)械密封裝置的軸向一端密封地結(jié)合，并與真空用筒軸的外周面嵌合，且在該第一外筒與真空用筒軸的外周面之間形成有第一真空通路 ；
第二外筒，該第二外筒與旋轉(zhuǎn)接頭機(jī)械密封裝置的軸向另一端密封地結(jié)合，并與真空用筒軸的外周面嵌合，且在該第二外筒與真空用筒軸的外周面之間形成有第二真空通路 ；
連接流體通路，該連接流體通路設(shè)于旋轉(zhuǎn)接頭連接部的內(nèi)部，一端與第二流體通路連通，并在另一端設(shè)有連接孔。